時(shí)，檔板向右移動(dòng)，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時(shí)使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動(dòng)。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過(guò) C1流過(guò)回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動(dòng)電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類(lèi)。
伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件（見(jiàn)液壓伺服系統(tǒng)）。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)同電氣及氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動(dòng)平穩(wěn)、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號(hào)和校正特性時(shí)多用電氣元件。因此，現(xiàn)代高性能的伺服系統(tǒng)也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統(tǒng)的必需元件。
伺服閥結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，造價(jià)高，對(duì)油的質(zhì)量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點(diǎn)，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化。另一個(gè)方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過(guò)電信號(hào)直接控制油流。

工作原理圖1是常見(jiàn)的氣動(dòng)薄膜調(diào)節(jié)閥，來(lái)自調(diào)節(jié)器的氣壓信號(hào)進(jìn)入膜
室后轉(zhuǎn)換成推力，通過(guò)推桿推動(dòng)閥門(mén)，調(diào)節(jié)被控對(duì)象中的流量。圖2是帶閥門(mén)定
位器的氣動(dòng)薄膜調(diào)節(jié)閥工作原理圖。氣壓信號(hào)pl進(jìn)入波紋管后，經(jīng)杠桿使擋板
與噴嘴靠近，因此噴嘴背壓p2增大，并經(jīng)氣動(dòng)功率放大器放大后送入執(zhí)行機(jī)構(gòu)
的膜室推動(dòng)閥門(mén)。同時(shí)，執(zhí)行機(jī)構(gòu)的位移通過(guò)凸輪和彈簧在杠桿上產(chǎn)生反饋力，
此力與波紋管產(chǎn)生的信號(hào)力相平衡，因此執(zhí)行機(jī)構(gòu)輸出位移與輸入信號(hào)成正比。
薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)是氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的一種結(jié)構(gòu)形式，輸出推力最大達(dá)20萬(wàn)牛頓，最
大位移為100毫米?；钊綀?zhí)行機(jī)構(gòu)輸出推力最大達(dá)14萬(wàn)牛頓,最大位移為600
毫米。氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，防爆性能好。