服閥范圍內(nèi)。20世紀(jì)70年代以來，伺服閥一般僅指電液伺服閥。
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典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成(見圖)。當(dāng)輸入線圈通入電流
伺服閥
伺服閥
時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過 C1流過回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。
伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件（見液壓伺服系統(tǒng)）。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)同電氣及氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩(wěn)、抗干擾能力強(qiáng)等特點。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現(xiàn)代高性能的伺服系統(tǒng)也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統(tǒng)的必需元件。
伺服閥結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，造價高，對油的質(zhì)量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過電信號直接控制油流。

工作原理圖1是常見的氣動薄膜調(diào)節(jié)閥，來自調(diào)節(jié)器的氣壓信號進(jìn)入膜
室后轉(zhuǎn)換成推力，通過推桿推動閥門，調(diào)節(jié)被控對象中的流量。圖2是帶閥門定
位器的氣動薄膜調(diào)節(jié)閥工作原理圖。氣壓信號pl進(jìn)入波紋管后，經(jīng)杠桿使擋板
與噴嘴靠近，因此噴嘴背壓p2增大，并經(jīng)氣動功率放大器放大后送入執(zhí)行機(jī)構(gòu)
的膜室推動閥門。同時，執(zhí)行機(jī)構(gòu)的位移通過凸輪和彈簧在杠桿上產(chǎn)生反饋力，
此力與波紋管產(chǎn)生的信號力相平衡，因此執(zhí)行機(jī)構(gòu)輸出位移與輸入信號成正比。
薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)是氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的一種結(jié)構(gòu)形式，輸出推力最大達(dá)20萬牛頓，最
大位移為100毫米?；钊綀?zhí)行機(jī)構(gòu)輸出推力最大達(dá)14萬牛頓,最大位移為600
毫米。氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)較簡單，防爆性能好。