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普旭COBRADS0080/0160G真空泵*

簡要描述:普旭COBRADS0080/0160G真空泵*
干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程,真空度*,可適應(yīng)惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力,特別適宜于潔凈環(huán)境,且易做防腐處理,特別適用于電子,化工,生物醫(yī)藥,金屬加工,食品加工等領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品型號(hào):COBRADS0080/0160G
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2023-11-06
  • 訪  問  量:1038

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詳細(xì)介紹

品牌Busch/德國普旭輸送介質(zhì)其他
泵軸位置其他葉輪數(shù)目其他

普旭COBRADS0080/0160G真空泵*
上海譜瑞特工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司,總部位于中國上海,在美國和德國均有自己的分子公司,從廠家直接拿貨,貨品安全,價(jià)格合理,貨期理想,海外分子公司可以自行報(bào)關(guān),全程一站式服務(wù),為了客戶的需求我們會(huì)盡自己全部的努力,歡迎前來合作。
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干式螺桿真空泵簡介:
干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程,真空度*,可適應(yīng)惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力,特別適宜于潔凈環(huán)境,且易做防腐處理,特別適用于電子,化工,生物醫(yī)藥,金屬加工,食品加工等領(lǐng)域。
普旭COBRADS0080/0160G真空泵干式螺桿真空泵:
干式螺桿真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,未來具有極大的市場前景。
普旭COBRADS0080/0160G真空泵性能特點(diǎn):
1、工作腔內(nèi)無任何介質(zhì),可獲得清潔真空
2、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層,可適應(yīng)惡劣工況
3、氣體在泵內(nèi)無壓縮,適宜抽取可凝性氣體
4、單臺(tái)泵可從大氣抽至1Pa,真空系統(tǒng)可大大簡化。
5、水溫對(duì)真空影響小,節(jié)水達(dá)90%以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,無滴漏
7、旋轉(zhuǎn)部件間無摩擦,可高速運(yùn)轉(zhuǎn),整機(jī)體積小
8、結(jié)構(gòu)簡單,維護(hù)方便。
9、被抽氣體直接排出泵體,不污染水,無環(huán)保壓力,氣體回收更便捷。
10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組
普旭COBRADS0080/0160G真空泵工作原理:
與螺桿式壓縮機(jī)類似,螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個(gè)過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),每對(duì)相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán),現(xiàn)在以其中一對(duì)齒來說明。
吸氣過程
陽轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn),陰螺桿按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。
壓縮過程
轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里,陽轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn),陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面,下方的端面為排氣端面。
排氣過程
螺桿泵的排氣過程,齒間容積與排氣孔口連通后,即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出,
螺桿真空泵技術(shù)說明
COBRANC是一種單級(jí)雙螺桿真空泵。一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子在腔體內(nèi)旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被螺桿捕獲,經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺桿轉(zhuǎn)子間不相互接觸,也不與腔體接觸。壓縮腔無需潤滑油或工作液。冷卻方式既可以采用直接水冷,也可以采用空氣冷熱交換器實(shí)現(xiàn)散熱器冷卻。COBRASemicon螺桿真空泵
極限壓力:0.001-0.03hPa(mbar)
抽氣速率50Hz:70-7385m?/h
抽氣速率60Hz:85-7385m?/h
COBRASemicon干式螺桿真空泵為工藝嚴(yán)苛的半導(dǎo)體、太陽能、平板顯示器生產(chǎn)及鍍膜行業(yè)提供有效的解決方案。
高效可靠
COBRASemicon螺桿真空泵配有高效電機(jī),因此可提供的節(jié)能效果。強(qiáng)勁、可靠、低維護(hù)的COBRASemicon真空泵緣于其簡單的設(shè)計(jì)結(jié)合Busch成熟的螺桿技術(shù)(可選擇額外的直通法蘭羅茨真空泵)。
應(yīng)用導(dǎo)向
COBRASemicon螺桿真空泵有多種型號(hào),廣泛適用于各類工藝操作。緊湊型設(shè)計(jì)簡化了安裝過程,即使在較狹小的空間也能輕松安裝。此系列真空泵擁有同等級(jí)中最高的抽速,可提供最大的通氣量(甚至是氫氣)及增強(qiáng)的顆粒耐受力。
COBRADS0080/0160G.
*螺絲設(shè)計(jì)
高效:
經(jīng)濟(jì)高效,維護(hù)量小,正常運(yùn)行時(shí)間長
靈活:
面向應(yīng)用
過程時(shí)間短:
由于抽速高
堅(jiān)固耐用:
內(nèi)部組件上的防腐蝕涂層
緊湊的設(shè)計(jì)


COBRADS0080/0160G是經(jīng)過驗(yàn)證的COBRADS系列的干式螺桿真空泵。即使在需要高氫氣吞吐量的條件下,它們的高抽速也使COBRADS螺桿真空泵成為光伏電池,平板顯示器和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻工藝的理想選擇。*COBRADS螺桿真空泵技術(shù)可以將帶粉末和顆粒的介質(zhì)抽空。
COBRADS干式螺桿真空泵具有干式壓縮,專門開發(fā)的螺桿型材和*的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸氣和顆粒耐受性。螺釘由單件鑄件制成,避免任何間隙,使得工藝流體或顆粒無法進(jìn)入,從而防止腐蝕。
COBRADS0080/0160G配備高效電機(jī),具有出色的能效。由于維護(hù)要求低,運(yùn)行成本低,正常運(yùn)行時(shí)間長,生命周期長,因此總體擁有成本非常低,為此性能等級(jí)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。
由于采用嵌入式設(shè)計(jì),可以快速,輕松地將這些螺桿真空泵改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)。
普旭COBRADS0080/0160G真空泵應(yīng)用
高密度等離子體CVD(HDP-CVD)
快速熱處理(RTP)
亞大氣壓CVD(SACVD)
金屬有機(jī)CVD(MOCVD)
等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)
低壓CVD(LPCVD)
原子層沉積(ALD)


普旭COBRADS0080/0160G真空泵技術(shù)規(guī)格
COBRADS氣缸內(nèi)的兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子以相反方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在汽缸和螺桿室之間,被壓縮并被輸送到氣體出口。在壓縮過程中,螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)彼此接觸或與氣缸接觸。因此,壓縮室中不需要潤滑劑或工作流體。COBRADS系列真空泵采用高效的間接水冷卻,可在整個(gè)泵體內(nèi)實(shí)現(xiàn)可控的溫度分布,并可響應(yīng)工藝變化。*螺桿設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*的泵送速度,從而排出氫氣。
普旭COBRADS0080/0160G真空泵同類產(chǎn)品其他型號(hào):
COBRADS0080/0160G                     COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G                     COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A                     COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100C                               COBRABC0100/0200F
COBRABC0101F                               COBRABC0101G
COBRABC0600F                               COBRABC1000/2000F

上海譜瑞特工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司竭誠為您服務(wù),本公司所在的集團(tuán)在歐美多個(gè)國際設(shè)有分公司,于廠家關(guān)系非常和諧,可以去廠家直接拿貨,保證貨物質(zhì)量和貨期,優(yōu)惠的價(jià)格是我們的宗旨,良好的服務(wù)、給所有的客戶解決問題是我們的追求,歡迎與我們合作!
普旭COBRADS0080/0160G真空泵*

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